东汉建安时期（196-220年），观音院始建。

宋建隆元年至至道三年（960-997年），观音院改称永安院。

金天会十三年至皇统八年（1135-1148年），因避讳赵州刺史完顔宗永，改永安院为柏林禅院。

金大定七年（1167年），柏林禅院建《大金沃州柏林禅院三千邑众碑》。

元至元十九年（1282年），柏林禅院增设后殿、外库、祖师堂、西堂、云堂、庖廩、僧寮等。

元至元十九年至元贞二年（1282-1296年），柏林禅院建赵州古佛堂。

元至元三十年（1293年），柏林禅院改称柏林禅寺。

元天历三年（1330年），修建赵州塔（柏林寺塔）。

明成化二十三年（1487年），柏林禅寺建毘卢殿。

明弘治十六年（1503年），柏林禅寺重建金刚、天王二殿竣工。

明嘉靖二十九年（1550年），柏林禅寺大悲殿竣工。

明隆庆六年（1572年），柏林禅寺重修藏经殿并立碑。

清雍正十一年（1733年），重塑柏林禅寺殿堂佛像。

清光绪二十年至三十年（1894-1908年），柏林禅寺在古佛堂旧址建“十方禅院”。

民国六年（1917年），柏林禅寺围墙及坍塌多年的天王、金刚二殿、山门殿、毘卢殿等，因水灾，变为废墟，寺内仅存摩尼殿、大慈殿和柏林寺塔以及十方禅院。

民国十一年至十五年（1922-1926年），县公署建设局占据寺内十方禅院，作为办公场所。

民国三十四年（1945年），柏林禅寺修缮工程基本完工。

1949年，中共赵县县委宣传部负责管理柏林禅寺文物。

1955年，十方禅院因存放大量鞭炮，不慎失火，五间正房全部炸毁，禅堂的砖石逐渐流失，化为废墟。

1956年，赵县进行文物普查，柏林禅寺仅存摩尼、大慈两座大殿和柏林寺塔，以及古柏数十株。

1963年，柏林禅寺遗址由文教部门管理使用，并划定四至范围：西至大岗旧墙基，东至东门大队，南至大街，北至大岗旧墙基。

1964年，县文教科批准石塔小学在柏林禅寺遗址建校，先占大慈殿做临时校舍。

1966年3月8日，柏林寺塔的塔刹被地震震落摔碎，塔刹宝瓶内所藏《金刚经》等震落飘散。

1968年，赵县革命委员会文教组批准在柏林禅寺遗址上利用石塔小学校舍，举办高级中学。

1968年至1970年，柏林禅寺仅存的摩尼、大慈两座大殿先后被拆除。

1983年，赵县师范学校在柏林禅寺遗址上筹建校舍。

1988年5月12日，河北省人民政府正式规定柏林禅寺作为宗教活动场所，交佛教界管理使用并逐步进行修复。

1989年，赵县人民政府确定柏林禅寺的面积为38·5亩，并划定了四至范围，规定在柏林禅寺遗址范围内的单位（包括赵县师范学校、县教育局等）逐步迁出。

1992年，位于“牟尼殿”旧址新建普光明殿。

1993年，台湾十方禅林捐赠铜钟一口，重量二吨。

1994年9月16日，山门、钟鼓楼落成。

1995年，柏林禅寺购进寺后洼地四十余亩。同年，观音殿、藏经楼修建落成。

1997年3月，整修柏林寺塔。同年6月，韦驮殿、指月楼、会贤楼落成。

1999年9月19日，万佛楼工程奠基。

2003年，万佛楼落成开光。